從2016年到2022年,Mini/Micro LED歷經(jīng)多年的發(fā)展,技術(shù)不斷更迭,芯片尺寸和像素間距不斷縮小,應(yīng)用場景不斷擴(kuò)大。與此同時,用戶對顯示屏幕的高清晰度、高畫質(zhì)、低功耗等使用體驗也在逐年提高。
與用于固態(tài)照明的LED相比,Mini/Micro LED對晶圓波長均勻性和粒子質(zhì)量的要求更高;而半導(dǎo)體工業(yè)對于晶圓表面缺陷檢測則是要求高效、準(zhǔn)確,能夠捕捉有效缺陷,實現(xiàn)實時檢測。這些都對封裝形式的安全性及可靠性提出了更高的要求,對相關(guān)在線外觀檢測機(jī)、點亮檢測機(jī)、晶圓去除機(jī)及激光焊晶機(jī)等檢修設(shè)備的智能化、自動化、速度及精度等提出新的挑戰(zhàn)。
然而,當(dāng)前市場上眾多傳統(tǒng)的檢修設(shè)備很難滿足Mini/Micro LED全新的檢測修補(bǔ)需求。傳統(tǒng)的Mini/Micro LED在線外觀檢測、點亮檢測機(jī)、晶圓去除機(jī)及激光焊晶機(jī)等設(shè)備基于技術(shù)局限性或資金不足或人工成本高等原因,各個品牌設(shè)備商各自獨立運營而沒有將其連接成整個自動化產(chǎn)線,作業(yè)時有時還會反復(fù)檢測與修補(bǔ),造成晶圓誤報率高、良率低、利潤空間小等問題。
作為國內(nèi)領(lǐng)先水平的電子裝配自動化設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售的高新企業(yè)——合易科技,通過技術(shù)升級和集約化管理優(yōu)勢,在研發(fā)、制造、工藝、品質(zhì)、服務(wù)等環(huán)節(jié)持續(xù)創(chuàng)新,打破傳統(tǒng)各自為戰(zhàn)的思維,將在線外觀檢測機(jī)、點亮檢測機(jī)、晶圓去除機(jī)以及激光焊晶機(jī)有機(jī)結(jié)合,打造出一套Mini/Micro LED晶圓檢測修補(bǔ)整體解決方案,真正做到檢修自動化、一體化,對消除芯片分選、提高基板晶圓良率、降低制造成本具有重要意義。
合易科技四臺智能設(shè)備共同穩(wěn)定運行與配合,全程實現(xiàn)自動化操作。基板晶圓通過外觀與點亮兩種檢測機(jī),
確定其中不良晶圓的行列位置信息;
再用去除機(jī)去除掉檢測出來的不良晶圓;
最后進(jìn)行精準(zhǔn)焊接修補(bǔ)。
整套流程使用下來,晶圓良率達(dá)到99.99%,滿足了市場需求,深受業(yè)界好評。
一、在線外觀檢測機(jī)
1.采用大理石平臺及直線電機(jī),保證機(jī)器運行精度;
2.運用專業(yè)特制的相機(jī)、光學(xué)鏡頭、光源等設(shè)備,確保被測晶圓外觀的清晰度;
3.借助輪廓運算、灰階運算、圖像對比等檢測手段,找出基板上存在如芯片受損、偏移、缺件等問題,做好標(biāo)記后傳送至下位機(jī)中;
二、在線點亮檢測機(jī)
1.運用專業(yè)特制的相機(jī)、光學(xué)鏡頭等設(shè)備,確保被測晶圓的清晰度;
2.點亮控制器對接產(chǎn)品控制測試所需的晶圓;
3.檢測晶體是否被點亮并將不良晶圓所處的行列位置傳輸?shù)较挛粰C(jī)中;
三、在線晶圓去除機(jī)
1.運用專業(yè)特制相機(jī)、激光測高、特制去晶刀,確保去晶準(zhǔn)確度;
2.采取雙視覺系統(tǒng),一組視覺測試刀具定位外觀檢測,另外一組對去除后焊點的視覺檢測,保證去晶效果;
3.自主研發(fā)的應(yīng)力感應(yīng)系統(tǒng),確保對基板的保護(hù)及變形基板的有效對應(yīng);
四、在線激光焊晶機(jī)
1.激光的光斑大小可自動調(diào)節(jié),適應(yīng)多種類型的焊點;
2.采用非接觸焊接方式,單點一對一焊接,焊點一次性達(dá)標(biāo);
3.配備定制半導(dǎo)體激光器,承接檢測環(huán)節(jié)傳輸下來的位置信息,以CCD同軸自動定位激光精準(zhǔn)焊接晶圓;
合易科技這套Mini/Micro LED智能檢測修補(bǔ)解決方案的意義:
1.顛覆傳統(tǒng)各自檢測修補(bǔ)的作業(yè)模式
2.無需人工操作,全程自動化流水作業(yè)
3.大幅度提升產(chǎn)能效率
4.高檢出率、高修補(bǔ)率、低誤報率
5.降本增效,提高利潤空間
一直致力于做客戶心中想要的自動化的合易科技,技術(shù)創(chuàng)新、產(chǎn)業(yè)布局兩手抓,以新一代Mini/Micro LED檢修整體解決方案助力封裝制程最后環(huán)節(jié)中的檢測修補(bǔ),提高基板晶圓的良率,為促進(jìn)Micro/Mini LED產(chǎn)業(yè)提質(zhì)增效、走向規(guī)模化量產(chǎn)添磚加瓦。
標(biāo)簽:Mini led檢測設(shè)備、Mini/Micro LED檢修整體解決方案、DIP焊點智能檢測修補(bǔ)方案